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全自動ウェハーレベルディスペンスマシン FAD5100S-WH

全自動ウェハーレベルディスペンスマシン FAD5100S-WH

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最先端のバックエンドプロセスを実現、FAD5100シリーズの進化形。
ウェハー上のデバイス配列を自自に設定。プログラミング工数の大幅な削減に貢献します。

全自動ウェハーレベルディスペンスマシン FAD5100S-WHの画像-1
・ 無停止連続動作による高速塗布：エクスプレスディスペンス機能。
・ 無停止連続動作による高速アライメント：エクスプレスアライメント機能。
・ 塗布量の管理を自動化：DVM機能。
・ ボイド回避に理想の塗布パターン「リーフライン」を形成：MCD機能[PAT.P]。
・ 大量不良を未然に防止：AFC機能。
・ウェハーマッピング機能搭載。

SPECIFICATION概略仕様

名称
全自動ウェハーレベルディスペンスマシン FAD5100S-WH
型式
FAD5100S-WH
制御方式
PC/PLC制御（SMEMA準拠）
適用ワーク
12”ウェーハ、8”ウェーハ