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EFEM対応ウェハーレベル全自動ディスペンスマシン FAD5100S-WH

EFEM対応ウェハーレベル全自動ディスペンスマシン FAD5100S-WH

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/products/full-automatic-dispensing-machine/semiconductorEFEM対応ウェハーレベル全自動ディスペンスマシン FAD5100S-WH

高精度ウェハー管理ソリューション
ウェハー配列対応ソフトで生産・フィレット検査の結果を リマッピング（SECS/GEM準拠）

EFEM対応ウェハーレベル全自動ディスペンスマシン FAD5100S-WHの画像-1

アフターサービスについて

・ 無停止連続動作による高速塗布
・ 無停止連続動作による高速アライメント：
　Mu SKY Capture機能
・ 塗布量の管理を自動化：DVM機能
・ ボイド回避に理想の塗布パターン「リーフライン」を形成：MCD機能[PAT.P]
・ 大量不良を未然に防止：AFC機能
・ウェハーマッピング機能搭載
・EFEMと接続した全自動生産が可能
・ウェハー、FOUP対応
・ウェハーマッピング機能
・結果のリマッピング(SECSGEM対応) ※オプション

EFEM（Equipment Front End Module）とは
EFEMとは、ウェハーのロード、アンロードを行うモジュール機器であり、ウェハーを収納しているフープ（FOUP: Front Opening Unified Pod）やウェハーカセットと呼ばれる容器から、クリーンルームの基準を保ちながら、自動でウェハーを取り出し、プロセス装置に搬送する役割を担っています。

SPECIFICATION概略仕様

名称
全自動ウェハーレベルディスペンスマシン FAD5100S-WH
型式
FAD5100S-WH
制御方式
PC/PLC制御（SMEMA準拠）
適用ワーク
12”ウェハー、8”ウェハー

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