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EFEM対応ハイエンドディスペンスマシン FAD5700ｰWH

EFEM対応ハイエンドディスペンスマシン FAD5700ｰWH

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ウェハー処理の新時代を拓く統合ソリューション
ウェハー配列対応ソフトで生産・フィレット検査の結果を リマッピング（SECS/GEM準拠）

EFEM対応ハイエンドディスペンスマシン FAD5700ｰWHの画像-1

アフターサービスについて

Point
・最先端半導体プロセス(WLP/チップレット/異種チップ集積)対応
・業界最高水準のKOZに塗布が可能
・EFEMと接続した全自動生産が可能
Update
・マルチヘッド独立制御、塗布重量自動補正機能搭載。
・省人化へ貢献する最新UI。

・無停止連続動作による高速アライメント：
　Mu SKY Capture機能
・無停止連続動作による高さ計測：
　Mu SKY Sensing機能
・塗布量の管理を自動化：DVM機能
・大量不良を未然に防止：AFC機能
・ウェハー、FOUP対応
・ウェハーマッピング機能
・結果のリマッピング(SECSGEM対応) ※オプション

EFEM（Equipment Front End Module）とは
EFEMとは、ウェハーのロード、アンロードを行うモジュール機器であり、ウェハーを収納しているフープ（FOUP: Front Opening Unified Pod）やウェハーカセットと呼ばれる容器から、クリーンルームの基準を保ちながら、自動でウェハーを取り出し、プロセス装置に搬送する役割を担っています。

SPECIFICATION概略仕様

名称
DISPENS MASTER
型式
FAD5700-WH
制御方式
PC/PLC制御（SMEMA準拠）

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