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真空チャンバー方式塗布装置 MBC-V

真空チャンバー方式塗布装置 MBC-V

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最先端プロセスへの新提案
究極のボイドレスソリューション

真空チャンバー方式塗布装置 MBC-Vの画像-1
・減圧下での高精度・安定塗布実現：武蔵独自のディスペンステクノロジーにより減圧環境下でも安定した塗布が可能。
・大量不良を未然に防止：FAD5100Sで培ったUFに特化した2大機能DVM・AFCを搭載。常に変化するプロセスを的確に捉え、不良発生を未然に防止。
・最先端プロセスの塗布自動化ラインをご提案：搬送ロボットを接続したスタンドアローン、マルチチャンバー、インラインなど様々な自動化ラインをトータルサポート。

SPECIFICATION概略仕様

名称
真空チャンバー方式塗布装置 MBC-V SERIES
型式
MBC-V SERIES
制御方式
PC+PLC
適用ワーク
車載基板、電子機器、ウェハー