高水準の塗布品質による歩留り向上を実現
■完全3Dアライメント
・ワーク個体差やパレット配列誤差を自動補正。
・デバイス配列のバラつきを完全補正。
■クラス最高 ±0.005mmの繰返位置決め精度
■エッジ検出機能【NEW】
・多様なワーク形状に対応。
■シンクロスピード機能搭載
・ディスペンサーとの連携を強化。より美しい塗布をスムーズに。
■塗布パターン編集ソフトMuCADV搭載
・ 品種切替を瞬時に実行。
・ DXF/ガーバーデータの取込が可能。
・ 千鳥配列・多数個取りプログラムを自動生成。
・ ウェーハ上のチップパターンを自動生成。
・ 塗布エリア/塗布禁止エリアの塗り分けが容易。
導入事例
3Dアライメント・ならい塗布
シンクロスピード機能とは?
カタログDL
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